应用

拉单晶

 
 

需求:可靠的运动过程

在圆晶片离开生产线之前,单晶硅必须经过无数次工艺操作……从单晶硅拉伸工艺开始。

单晶硅拉伸机械需要无振动、稳定一致的进给运动。对此INA能做些什么?

满足这些需求的定制方案,例如,我们免维修的四列直线球轴以及导轨组件KUVE。稳定一致的低移动阻力允许它们在极低速情况下实现稳定一致的精确和恒速进给,而这正是硅棒拉伸所必需的。