应用

光刻

适用于X——Y轴工作台的高精密直线导引系统

为了在芯片上创建结构,晶片表面镀上了一层薄的感光材料。感光材料通过掩膜并在光照射时分解。

下一代的半导体生产的目标将会是生产出低于60nm的结构从而达到更高存储密度以及更快的开关速度。

通过直线电机驱动的X-Y坐标工作台移动基片以及投影掩模。机器固定在一个刚性且隔振的大理石基座上,并且采用高精度的导轨系统,例如INA的直线滚子轴承和导轨组件RUE。极低噪音的导引系统特点是其均一的运转和位移阻力——为了实现高的定位精度和重复定位精度。