
利用气浮轴承的平面电机最适合精确到µm级点对点位置控制。平面电机系统中推力是通过磁阻原理感生的。由于定子上强大的磁引力,平面系统可于垂直和悬挂应用场合。
通过在一个定子上放置多个运动单元,平面系统更有高效。同一个定子上布置两个或多个独立的运动单元运作,可更有效的利用有限的生产空间。
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优点
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应用